融合CFDP和CPM分析的关键核心技术识别及其路径分析——以芯片光刻领域为例

吕鲲, 罗星雨, 靖继鹏

图书情报工作 ›› 2024, Vol. 68 ›› Issue (16) : 75-89.

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图书情报工作
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图书情报工作 ›› 2024, Vol. 68 ›› Issue (16) : 75-89. DOI: 10.13266/j.issn.0252-3116.2024.16.007 CSTR: 32305.14.CN11-1541.2024.16.007
情报研究

融合CFDP和CPM分析的关键核心技术识别及其路径分析——以芯片光刻领域为例

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Identification and Path Analysis of Key Core Technologies Integrated CFDP and CPM Analysis: A Case Study of Chip Lithography

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